СИЛИЦИЕВ КАРБИД КОНЗОЛЕН ШЛАМ
Области на приложение: В дифузионни пещи и високотемпературни окислителни дифузионни пещи, използвани в индустрията за производство на полупроводници за извършване на термичен растеж и окисление на силициеви пластини, конзолната лопатка е ключов компонент на системата за зареждане на пластини, за да осигури еднаквост на пластините и тръбата на пещта за повече равномерна дифузия и окисление. Конзолните лопатки от силициев карбид се характеризират с висока якост, висока чистота, висока топлопроводимост, липса на порьозност, устойчивост на киселинна и алкална корозия, липса на замърсяване при високи температури, добра устойчивост на термичен удар и висока товароносимост. В комбинация с коефициент на топлинно разширение, подобен на този на LPCVD покритията, използването на конзолни лопатки от силициев карбид в LPCVD може значително да удължи циклите на почистване при поддръжка и значително да намали замърсяването.
Описание
Едно от основните предимства на суспензията от силициев карбид е нейната способност да осигурява постоянни и еднакви резултати. Суспензията е в състояние да осигури гладко покритие и отлично качество на повърхността, като гарантира, че обработените части нямат драскотини, пукнатини или други дефекти.
Друго предимство на суспензията от силициев карбид е, че е екологична. Суспензията не съдържа никакви опасни съединения или токсични химикали, което я прави безопасна за използване и изхвърляне.
Освен това суспензията от силициев карбид е много рентабилна, тъй като значително намалява загубата на материал и времето за обработка. Суспензията е в състояние да отстрани материала с по-бърза скорост от традиционните техники за шлайфане и полиране, като по този начин повишава ефективността на производствения процес.
