Как работят лодките за изпаряване

Лодките за изпаряване са керамични компоненти, които действат като приемни за метала (чист алуминий), който трябва да се изпари. Те функционират като електрически съпротивление нагревателиизпаряване лодка и непрекъснато хранена алуминиева тел се загряват под висок вакуум от ток поток, така че телта първо се топи и след това се изпарява. Поради специалното повърхностно структуриране и текстура се образува разтопена вана и оптимално се разпределя над лодката, като по този начин се осигурява хомогенен облак от пари. След това металната пара се отлага върху субстрат, разположен над парния облак.

Материали за изпаряващи лодки

Има различни изисквания, на които трябва да отговарят изпарителните лодки. За да може принципът на съпротивително отопление да работи, те трябва да бъдат електропроводими; в същото време те се нуждаят от достатъчно висока степен на електрическо съпротивление, за да направят нагряването им възможно изобщо. Освен това те трябва да бъдат устойчиви на високи температури и инертни към разтопения метал. За да се съчетаят тези свойства, смесената керамика се прави от два или три компонента.

Двукомпонентните изпаряващи лодки съдържат титанов диборид и БОР НИТРИД. Поради структурата си на залепване, титанов диборид предлага отлична устойчивост на високи температури и остава инертен дори към цветни метални топения. Той също така подобрява wettability на изпаряване лодка чрез течен алуминий и осигурява топене вана с обширна повърхност. Например, когато се използва за отлагане на алуминиеви пари, тя е напълно на мокра от течен алуминий. В допълнение, титанов диборид е много добър електрически проводник. Бор нитрид се добавя като непроводим материал за задаване на електрическото съпротивление на изпаряващата лодка.

Трикомпонентната смесена керамика включва и алуминиев нитрид. Този материал има много добра топлопроводимост, която го прави особено подходящ за големи изпарителни лодки, за да се гарантира, че те се загряват бързо и еднакво. В сравнение с двукомпонентните изпарявателни лодки, трикомпонентните версии имат по-кратък живот, с по-ниски нива на изпаряване и по-малко устойчивост на корозия. В същото време, мокростта на изпарителя е значително подобрена и има по-голяма хомогенност на отложените от парите слоеве. Следователно трикомпонентните изпарители се използват предимно при производството на кондензатори, тъй като това изисква особено високо ниво на хомогенност в покритията.