Лодки за изпаряване се отличават във вакуумни пещи

Лодката за изпаряване е вакуумна пещ за постигане на основните компоненти на покритието за изпаряване на материала, неговата функция е да пренася изпарението на материалите и да я направи изпарена чрез отопление, отложена във вакуумна среда, за да образува тънък филм. Следното от мястото на приложение, свойствата на материалите, техническите точки и приложенията в индустрията и други аспекти на подробния анализ на лодката за изпаряване във приложенията на вакуумната пещ:

Основна сцена на приложение

1. Отлагане на тънки филми и приготвяне на вакуумна пещ чрез изпаряването на лодката за отопление на лодката изпарени материали (метали, сплави, съединения и др (Sio₂, Sinₓ), използван при производството на чипове, платки, MEMS устройства. Оптични филми: Филми за подобряване на предаванията (MGF₂), отразяващи филми (AG, AL), филтърни филми (многослойни диелектрични филми), използвани в оптични лещи, камери за мобилни телефони, дисплеи. Функционални покрития: устойчиви на износване покрития (калай, CRN), филми за инсулатура на топлина (метални сплави), устойчиви на корозия филми (PTFE), използвани в автомобилно стъкло, режещи инструменти, аерокосмически компоненти.

2. Пречистване на материала и модификация на разделянето на материала с висока чистота: Използването на различни вещества с различно налягане на парата, чрез нагряване на лодката за изпаряване за постигане на пречистване на редки земни елементи (като ND, DY), благородни метали (AU, PT). Повърхностно лечение на допинг: изпаряване на допанти (като B, N) на повърхността на полупроводникови вафли или батерии, за подобряване на електрическите или оптичните свойства на материалите.

Второ, техническите точки и изискванията за проектиране

1. Контрол на температурата и равномерност на лодката за изпаряване чрез отопление на съпротивление или отопление на бомбардиране на електронния лъч, трябва да се зададе температурата според налягането на парата на материала (като температура на изпаряване на Al от около 1200 градуса, AU около 1400 градуса).

Дизайнът на тялото на лодката (като дълбочината на канала, ъгъла на наклона), за да се гарантира, че изпаряването на материала се нагрява равномерно, за да се избегне локалното прегряване, причинено от разпръскване или нечистота.

2. Вакуумна вакуумна среда (обикновено 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) може да намали точката на кипене на материала, да подобри скоростта на изпаряване, като същевременно избягва окисляването. Материалите на лодката на изпаряването трябва да бъдат стабилни при висок вакуум, като графитна лодка трябва да се избегне високотемпературна окисляване (трябва да се напълни с инертен газ като AR).

3. Химическа съвместимост За да се избегне изпаряването на материалите и реакцията на лодката: Например изпаряването на Zn, съдържащи S-съдържащи материали, не трябва да се използва молибденна лодка (лесна за образуване на ниска точка на топене MOS ₂ води до корозия); Изпаряването на нитридната лодка за предпочитана бор от бор, за да се предотврати металната лодка на лодката и реакцията на N елемента да генерира примеси.

4. Живот и цикъл на заместване След дългосрочна употреба лодката може да се дължи на ерозия на стопилка, остатъци от изпаряване или повреда на деформация, редовна поддръжка (като ултразвуково почистване) или подмяна, за да се гарантира стабилността на качеството на покритието. Типични индустриални приложения

1. Производство на полупроводникови и микроелектронни чипове: изпаряване на AL, CU подготовка на интегрални вериги, използвайки молибденна лодка или волфрамна лодка; Отлагането на изолационния слой SiO₂ може да бъде незадължителна графитна лодка или борна нитридна лодка (за да се избегне замърсяване с метали). Захранващи устройства: Използването на изпаряване на лодката на борната нитрид GAN, ALN, Подготовката на епитаксиалния слой с висока мобилност на електроните (HEMT), за да се избегне въвеждането на примеси в тялото на металната лодка.

2. Оптика и технология на дисплея Прецизна оптични компоненти: Изпаряване на лодки на волфрамове AG, AL Подготовка на огледала, Графитна лодка MGF₂, SIO₂ подготовка на филма за подобряване на предаването, за да се осигури равномерност на филма и ниска скорост на дефект.

OLED и мини-воден: изпаряване на лодката на борната нитрид на биологични материали за излъчване (като IR комплекс) или квантови точки, за да се избегнат материалите на тялото на лодката и реактивните органични молекули, за да се подобри живота на устройството.

3. Соларни клетки на ново енергийно поле: Молибденна лодка Изпаряване на AG Електроден суспензия, отлагане на графитна лодка SINₓ редукционен филм; В батерията на халкогенида, йтридът от борна нитрид формамидин-леден йод (FAPBI₃), за да се предотврати замърсяване с водна пара и примеси.

4. Литиево-йонни батерии: изпаряване на лодката Tantalum LI метална подготовка на твърдо състояние на батерията, използването на устойчивостта на литиевата му корозия; Изпаряването на В, N елементи, легиран модифициран анод на базата на силиций, за подобряване на колоездачната ефективност.

5. Оборудване от висок клас и аерокосмически инструмент покритие: Изпаряване на лодката на волфрамовете TI, CR подготовка, тенекия с CRN твърдо покритие, подобряване на устойчивостта на износване на инструмента; Изпаряване на лодката на Boron Nitride на Diamond Precursor, подготовката на DLC филм, използван в авиационните лагери.

Лечение с високотемпературна сплав: изпаряване на AL, Y и други елементи чрез молибденна лодка във вакуумна пещ за образуване на антиоксидантни покрития (като алуминиево покритие) за аеро-двигателни остриета.

Shengyang New Material Co., Ltd., се ангажира с производството на продукти, обработени от бор от бор и боро и бор, и може да персонализира различни керамични части на изолацията на борово нитрид според нуждите на клиента. Свържете се с нас, ако е необходимо.
Тел: +8618560961205
Имейл: sales@zbsyxc.com