Лодки за изпаряване на борен нитрид срещу. Волфрамови лодки
Nov 20, 2023
Изпарителни лодки с борен нитрид срещу волфрамови лодки: разлики и предимства
Изпарителните лодки се използват широко за производството на тънки филми и покрития в много индустрии като електроника, оптика и автомобилостроене. Сред различните материали, използвани за изпарителни лодки, борен нитрид (BN) и волфрам (W) са два популярни избора. Ето разликите и предимствата на BN изпарителните лодки в сравнение с традиционните W лодки.
На първо място, BN има много по-висока топлопроводимост от W. Това означава, че лодките за изпаряване на BN могат да прехвърлят повече топлина към субстрата по време на процеса на отлагане, което води до по-бърза и по-равномерна скорост на отлагане. Освен това BN е химически инертен материал, което означава, че не реагира с материалите, които се изпаряват, или с газовете, използвани във вакуумната камера. Това намалява вероятността от замърсяване и подобрява стабилността и консистенцията на тънките слоеве.
В допълнение, BN изпарителните лодки имат по-висока точка на топене от W. BN може да издържи на температури до 2800 градуса, докато W се топи при около 3422 градуса. Това означава, че BN лодките могат да се използват за процеси на отлагане при висока температура, като реактивно разпрашване и плазмено усилено химическо отлагане на пари (PECVD), без риск от повреда или деформация на лодката.
Друго предимство на BN изпарителните лодки е тяхното ниско налягане на парите. Това означава, че BN не се изпарява по време на процеса на отлагане, намалявайки шанса за нуклеация и подобрявайки качеството и чистотата на тънките филми. Освен това BN е нетоксичен материал, което го прави по-безопасен избор за използване във вакуумната камера.
В обобщение, BN изпарителните лодки имат няколко предимства пред W лодките, включително по-висока топлопроводимост, химическа инертност, по-висока точка на топене, ниско налягане на парите и нетоксичност. Тези свойства правят BN лодките отличен избор за високоефективно отлагане на тънък слой в различни индустриални приложения.
Shengyang New Material Co., Ltd. се ангажира с производството на борен нитрид и преработени продукти с борен нитрид и може да персонализира различни изолационни керамични части от борен нитрид според нуждите на клиента. Свържете се с нас, ако е необходимо.
Тел:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp:+8613964302243