Керамика от бор от бор във вакуумните пещи

Керамика от бор от бор (BN), особено шестоъгълен бор нитрид (Н-BN), се отличава във вакуумни пещи, главно поради техните уникални физически и химични свойства. По -долу е подробен анализ на тяхното отлично представяне:

1. Отлично устойчивост на висока температура

Висока точка на топене: Точката на топене на боровия нитрид е около 3000 градуса и може да се използва стабилно във вакуумна среда за дълго време при висока температура от 1800 ~ 2000 градуса, което е много повече от повечето керамични материали (напр. Точката на топене на алуминиев оксид е 2072 градуса).

Устойчивост на термичен удар: Нисък коефициент на термично разширение (≈1 × 10- ⁶/ степен, подобно на кварц), комбиниран с висока топлинна проводимост (30 ~ 60 w/ mk, вертикална ламинарна посока), така че да не е лесно да се напука при бързата промяна на температурата.

2. Отлична химическа стабилност

Адаптивност на инертната среда **: При вакуум или инертна атмосфера тя има силна устойчивост на корозия на разтопени метали (напр. Алуминий, мед), соли и кисела среда, като избягва реакцията с материали за пещ.

Ниска скорост на изгаряне: почти никакво освобождаване на газове (напр. H₂O, CO₂) при високи температури, поддържане на висок вакуум (по -малък или равен на 1 × 10- ⁵ PA), намалявайки риска от замърсяване.

3. Уникални свойства на електрическа изолация и смазване

Изолация с висока температура: съпротивление до 10⁴ ~ 10⁶ Ω-cm (все още поддържа 10⁶ Ω-cm на 1000 градуса), подходящ за изолиране на части от съседни електрически нагревателни елементи.

Самозамаляване: Ламинарната структура дава нисък коефициент на триене (0.

4. Баланс между обхвата и механичната якост

Лесна обработваемост: Твърдостта на MOHS е само 2, може да се обработи в сложни форми (като тънки стени, прецизни приспособления), намаляване на производствените разходи.

Умерена якост: Силата на гъвкавост е около 30 ~ 100 MPa, което е по -ниско от тази на силициевия карбид (400 ~ 600 MPa), но капацитетът на товара може да бъде подобрен чрез композитна армировка (напр. Добавяне на SIC влакно).

5. Типични сценарии за приложение

Производство на полупроводници: Използва се като отоплителна плоча на оборудването на MOCVD, равномерна топлинна проводимост, за да се гарантира качеството на епитаксиалната вафла.

Метална обработка: Използва се като тигел материал за вакуумно синтероване на пещ, топене на сплав с висока чистота (като Ti -6 al -4 V) без замърсяване.

Кристален растеж: Екран на топлинната изолация за сапфирна единична кристална пещ, работещ непрекъснато на 2000 градуса в продължение на 1000 часа без деформация.

6.comParative предимства с други материали

VS GRAPHITE: Графитът е проводим и има ниска якост при висока температура (омекотява лесно в инертна атмосфера), докато H-BN е изолиращ и стабилен при висока температура.

срещу al₂o₃: Алуминиевият оксид има лоша топлопроводимост (~ 30 w/ mk) и слаба устойчивост на термичен удар (коефициент на термично разширение от 8 × 10- ⁶/ степен), не е подходящ за бързо повишаване на температурата и падането.

vs Si*: Силиконов карбид е електрически проводим и труден за обработка и не може да се използва за изолационни части.

7. Потенциални ограничения и подобрения

Риск от окисляване: Окислява до B₂O₃ във въздух над 800 градуса, изисква строго поддържане на вакуум или инертна атмосфера.

Подобряване на силата: Чрез композит на H-BN и Tib₂, якостта на гъвкавост може да се увеличи до 200 MPa, разширявайки приложението му при тежки условия на натоварване.

Shengyang New Material Co., Ltd., се ангажира с производството на продукти, обработени от бор от бор и боро и бор, и може да персонализира различни керамични части на изолацията на борово нитрид според нуждите на клиента. Свържете се с нас, ако е необходимо.
Тел: +8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com